一、ESD防静电系统要素:
1)地面:防静电地面(防静电水磨石,防静电地板)体电阻105~109Ω,敷设地线网。
2)接地:防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置,地电阻小于4Ω。防静电地线不得与电源零线相接,不得与防雷地线共用,使用三相五线制供电时,其地线可以作防静电地线。工作台面、地垫、坐椅和其它导静电的ESD保护设施均应通过限流电阻接入地线,腕带等应通过工作台顶面接地点与地线连接,工作台不可相互串联接地。 防静电工作区接地系统,包括限流电阻和连接端子应连接可靠并具有一定载流能力,限流电阻阻值选择应保证漏泄电流不超过5mA,下限值取为1M Ω。
3)温湿度:20~30℃,相对湿度30~70%。
4)增湿:增湿器使空气潮湿,防止静电荷积累,此法不适于增湿后会产生有害影响的场地。
5)人体:穿防静电工作服、工作鞋,戴有绳防静电腕带、手套、指套等。
6)包装:静电敏感器件应采取防静电保护性包装,如防静电袋、防静电盒等。
7)贮存、运输:静电敏感器件必须存放在防静电容器(箱、袋)内,并用防静电运输工具(箱、车)周转。贮运中要远离静电场、电磁场或放射场,如电脑显示器顶部。
二、人员防静电接地技术要求
1)人员防静电接地应使用腕带、工鞋等。
2)所有生产操作员工进入防静电区域必须着装防静电工鞋工衣;外来人员进入防静电区域穿防静电鞋套和穿防静电衣。
3)阻进行测试,对有可能要接触产品的人员,还应进行防静电腕带测试,并保存测试结果,做好测试记录。
4)进入防静电区域前必须应对人体综合电阻进行测试,如果外来人员有可能要接触产品,也应进行防静电腕带测试,并保存测试结果做好测试记录。
5)防静电腕带或人体综合电阻测试未通过者,不得进入防静电区域,更不得接触ESSD(静电敏感器件)及组件。人体综合电阻测试、腕带测试未通过的,必须立即查找原因并作出相应处理,直至合格为止。
4、腕带接地要求
防静电腕带与皮肤应保证接触良好,并接入防静电地线系统,在戴腕带的皮肤上不得涂护肤油、防冻油等油性物。
5、工鞋接地要求
1)防静电鞋内不得垫鞋垫。
2)为了使人体静为了使人体静电能很好的通过工鞋、鞋跟泻放,操作人员要求穿棉袜。
3)保持工鞋干净清洁。
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